沈阳拓??萍加邢薰?,是由海外技术专家于2010年4月28日组建的高新技术企业,三次承担国家科技重大专项。公司致力于研究和生产世界领先的极大规模集成电路行业专用薄膜设备,矢志成为纳米级薄膜制造技术解决方案的领导者。
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两次承担国家02重大专项(十一五3.5亿+十三五5.2亿)
拓荆与清华大学、复旦大学、中科院微电子所广泛项目合作,开展技术攻坚
整机装备达到国内领先(唯一)、国际先进水平
全新无尘车间科技领先